As polovodiča mikroelektronické technológie sa vyvíjajú smerom k vyššiemu výkonu a vyššej integrácii, kladú sa vyššie požiadavky na čistotu špeciálnych elektronických plynov. Technológia vysoko čistých plynových potrubí je dôležitou súčasťou systému zásobovania vysoko čistým plynom. Je to kľúčová technológia na dodávanie vysoko čistých plynov, ktoré spĺňajú požiadavky na miesta odberu plynu a zároveň si zachovávajú kvalifikovanú kvalitu.
Technológia vysoko čistých potrubí zahŕňa správny návrh systému, výber potrubných tvaroviek a pomocných materiálov, konštrukciu, montáž a testovanie.
01Všeobecná koncepcia plynovodov
Všetky vysoko čisté a nezávadné plyny sa musia do koncového bodu prepravovať potrubím. Aby sa splnili požiadavky na kvalitu procesu plynu, je pri určitej presnosti exportu plynu potrebné venovať väčšiu pozornosť výberu materiálu a kvalite konštrukcie potrubného systému. Okrem presnosti zariadenia na výrobu alebo čistenie plynu ju do značnej miery ovplyvňuje mnoho faktorov potrubného systému. Preto sa pri výbere potrubí musia dodržiavať príslušné zásady čistiaceho priemyslu a materiál potrubí sa musí vyznačiť vo výkresoch.
02Význam vysoko čistých plynovodov pri preprave plynu
Význam vysoko čistých potrubí pri preprave vysoko čistého plynu Počas procesu tavenia nehrdzavejúcej ocele dokáže každá tona absorbovať približne 200 g plynu. Po spracovaní nehrdzavejúcej ocele sa na jej povrchu nielen usadzujú rôzne znečisťujúce látky, ale určité množstvo plynu sa absorbuje aj v jej kovovej mriežke. Keď potrubím prechádza prúd vzduchu, časť plynu absorbovaná kovom sa opäť dostane do prúdu vzduchu a znečistí čistý plyn.
Keď je prúdenie vzduchu v potrubí prerušované, potrubie vytvára adsorpciu tlaku na plyne prechádzajúcom potrubím. Keď prúdenie vzduchu prestane prúdiť, plyn adsorbovaný potrubím vytvára redukciu tlaku a analyzovaný plyn tiež vstupuje do čistého plynu v potrubí ako nečistota.
Súčasne cyklus adsorpcie a analýzy spôsobí, že kov na vnútornom povrchu potrubia vyprodukuje určité množstvo prášku. Tieto kovové prachové častice tiež znečisťujú čistý plyn v potrubí. Táto vlastnosť potrubia je veľmi dôležitá. Na zabezpečenie čistoty prepravovaného plynu je potrebné nielen mimoriadne hladký vnútorný povrch potrubia, ale aj vysokú odolnosť voči opotrebovaniu.
Ak má plyn silné korozívne vlastnosti, musia sa na potrubie použiť rúry z nehrdzavejúcej ocele odolné voči korózii. V opačnom prípade sa na vnútornom povrchu rúry v dôsledku korózie objavia škvrny od korózie. V závažných prípadoch sa veľké kusy kovu odlupujú alebo dokonca perforujú, čím kontaminujú prepravovaný čistý plyn.
03Materiál potrubia
Výber materiálu potrubia je potrebné zvoliť podľa potrieb použitia. Kvalita potrubia sa vo všeobecnosti meria drsnosťou vnútorného povrchu potrubia. Čím nižšia je drsnosť, tým menej je pravdepodobné, že bude prenášať častice. Vo všeobecnosti sa delí na tri typy:
Jeden jePotrubie triedy EP 316L, ktorý bol elektrolyticky leštený (elektropolštiteľský). Je odolný voči korózii a má nízku drsnosť povrchu. Rmax (maximálna výška od vrcholu po údolie) je približne 0,3 μm alebo menej. Má najvyššiu rovinnosť a ľahko sa v ňom netvoria mikrovírivé prúdy. Odstráňte kontaminované častice. Reakčný plyn použitý v procese by mal byť privádzaný na tejto úrovni.
Jeden jeBA triedy 316Lpotrubie, ktoré bolo ošetrené metódou Bright Anneal a často sa používa pre plyny, ktoré sú v kontakte s trieskou, ale nezúčastňujú sa procesnej reakcie, ako napríklad GN2 a CDA. Jednou z nich je potrubie AP (Annealing & Picking), ktoré nie je špeciálne upravené a vo všeobecnosti sa používa pre dvojité sady vonkajších potrubí, ktoré sa nepoužívajú ako prívodné potrubia plynu.
04 Výstavba potrubia
Spracovanie ústia potrubia je jedným z kľúčových bodov tejto stavebnej technológie. Rezanie a prefabrikácia potrubia sa vykonávajú v čistom prostredí a zároveň sa zabezpečí, aby pred rezaním na povrchu potrubia neboli žiadne škodlivé stopy alebo poškodenia. Pred otvorením potrubia by sa mala vykonať príprava na preplachovanie dusíkom. V zásade sa zváranie používa na spájanie vysoko čistých a vysoko čistých plynovodov na prepravu a distribúciu plynu s veľkým prietokom, ale priame zváranie nie je povolené. Mali by sa použiť plášťové spoje a použitý materiál potrubia nesmie počas zvárania meniť štruktúru. Ak sa zvára materiál s príliš vysokým obsahom uhlíka, priepustnosť vzduchu zváranej časti spôsobí, že plyn vo vnútri a zvonku potrubia sa navzájom prenikne, čím sa zničí čistota, suchosť a čistota prepravovaného plynu, čo povedie k vážnym následkom a ovplyvní kvalitu výroby.
Stručne povedané, pre plynovody s vysokou čistotou a špeciálne plynovody sa musí použiť špeciálne upravená rúra z nehrdzavejúcej ocele s vysokou čistotou, vďaka čomu systém potrubia s vysokou čistotou (vrátane potrubí, tvaroviek, ventilov, VMB, VMP) zohráva dôležitú úlohu pri distribúcii plynu s vysokou čistotou.
Čas uverejnenia: 26. novembra 2024