As polovodiča mikroelektronické technológie sa vyvíjajú smerom k vyšším výkonom a vyššej integrácii, na čistotu elektronických špeciálnych plynov sú kladené vyššie požiadavky. Technológia potrubia vysokočistého plynu je dôležitou súčasťou systému dodávky vysokočistého plynu. Ide o kľúčovú technológiu pre dodávku vysoko čistých plynov, ktoré spĺňajú požiadavky na miesta použitia plynu pri zachovaní kvalifikovanej kvality.
Technológia vysokočistého potrubia zahŕňa správny návrh systému, výber potrubných tvaroviek a pomocných materiálov, konštrukciu a inštaláciu a testovanie.
01Všeobecná koncepcia potrubia na prepravu plynu
Všetky plyny vysokej čistoty a vysokej čistoty musia byť dopravované potrubím do koncového bodu plynu. Aby sa splnili požiadavky na kvalitu procesu pre plyn, keď je index exportu plynu istý, je potrebné venovať pozornosť výberu materiálu a kvalite konštrukcie potrubného systému. Okrem presnosti zariadenia na výrobu alebo čistenie plynu je do značnej miery ovplyvnená mnohými faktormi potrubného systému. Preto je potrebné, aby sa pri výbere rúrok dodržiavali príslušné zásady priemyselného čistenia a aby sa na výkresoch vyznačil materiál rúr.
02Význam vysokočistých plynovodov v preprave plynu
Význam potrubí s vysokou čistotou pri preprave plynu s vysokou čistotou Počas procesu tavenia nehrdzavejúcej ocele môže každá tona absorbovať asi 200 g plynu. Po spracovaní nehrdzavejúcej ocele nielenže na jej povrchu uviaznu rôzne škodliviny, ale v jej kovovej mriežke sa absorbuje aj určité množstvo plynu. Keď potrubím prechádza prúd vzduchu, časť plynu absorbovaná kovom opäť vstúpi do prúdu vzduchu a znečistí čistý plyn.
Keď je prúdenie vzduchu v potrubí prerušované, potrubie vytvára tlakovú adsorpciu na plyn, ktorý ním prechádza. Keď prestane prúdiť vzduch, plyn adsorbovaný potrubím vytvorí analýzu zníženia tlaku a analyzovaný plyn tiež vstupuje do čistého plynu v potrubí ako nečistota.
Zároveň cyklus adsorpcie a analýzy spôsobí, že kov na vnútornom povrchu potrubia vytvorí určité množstvo prášku. Táto kovová prachová častica tiež znečisťuje čistý plyn v potrubí. Táto vlastnosť potrubia je veľmi dôležitá. Aby sa zabezpečila čistota prepravovaného plynu, vyžaduje sa nielen, aby vnútorný povrch potrubia mal extrémne vysokú hladkosť, ale tiež aby mal vysokú odolnosť proti opotrebovaniu.
Ak má plyn silné korozívne vlastnosti, musia sa na potrubia použiť rúry z nehrdzavejúcej ocele. V opačnom prípade sa na vnútornom povrchu potrubia v dôsledku korózie objavia korózne škvrny. V závažných prípadoch sa veľké kusy kovu odlepia alebo dokonca perforujú, čím sa kontaminuje prepravovaný čistý plyn.
03 Materiál potrubia
Výber materiálu potrubia je potrebné zvoliť podľa potrieb použitia. Kvalita potrubia sa vo všeobecnosti meria podľa drsnosti vnútorného povrchu potrubia. Čím je drsnosť nižšia, tým je menej pravdepodobné, že bude niesť častice. Všeobecne rozdelené do troch typov:
Jeden jeRúrka EP triedy 316L, ktorý bol elektrolyticky leštený (Electro-Polish). Je odolný voči korózii a má nízku drsnosť povrchu. Rmax (maximálna výška od vrcholu k údoliu) je približne 0,3 μm alebo menej. Má najvyššiu rovinnosť a nie je ľahké vytvárať mikrovírivé prúdy. Odstráňte kontaminované častice. Reakčný plyn použitý v procese by mal byť vedený potrubím na tejto úrovni.
Jeden je aBA trieda 316Lpotrubie, ktoré bolo upravené Bright Anneal a často sa používa pre plyny, ktoré sú v kontakte s čipom, ale nezúčastňujú sa procesnej reakcie, ako sú GN2 a CDA. Jedným z nich je potrubie AP (Annealing & Picking), ktoré nie je špeciálne upravené a vo všeobecnosti sa používa pre dvojité sady vonkajších potrubí, ktoré sa nepoužívajú ako rozvody plynu.
04 Stavba potrubia
Spracovanie ústia rúry je jedným z kľúčových bodov tejto stavebnej technológie. Rezanie a prefabrikácia potrubia sa vykonáva v čistom prostredí a zároveň je zabezpečené, že na povrchu potrubia pred rezaním nezostanú žiadne škodlivé stopy a poškodenia. Prípravy na preplachovanie dusíkom v potrubí by sa mali vykonať pred otvorením potrubia. V zásade sa zváranie používa na pripojenie vysoko čistých a vysoko čistých plynovodov na prenos a rozvod plynu s veľkým prietokom, ale priame zváranie nie je povolené. Mali by sa použiť spoje plášťa a od použitého materiálu potrubia sa vyžaduje, aby sa počas zvárania nezmenila štruktúra. Ak sa zvára materiál s príliš vysokým obsahom uhlíka, vzduchová priepustnosť zváracej časti spôsobí, že plyn vo vnútri a mimo potrubia prenikne do seba, čím sa zničí čistota, suchosť a čistota dopravného plynu, čo bude mať vážne následky. a ovplyvniť kvalitu výroby.
Stručne povedané, pre plynovody vysokej čistoty a špeciálne plynovody na prepravu plynu sa musí použiť špeciálne upravená rúra z nehrdzavejúcej ocele s vysokou čistotou, vďaka čomu zaberá vysokočistý potrubný systém (vrátane potrubí, potrubných armatúr, ventilov, VMB, VMP) dôležité poslanie v oblasti distribúcie plynu s vysokou čistotou.
Čas odoslania: 26. novembra 2024