1. Definícia systému hromadného plynu:
Skladovanie a regulácia tlaku inertných plynov Typy plynov: Typické inertné plyny (dusík, argón, stlačený vzduch atď.)
Veľkosť potrubia: Od 1/4 (monitorovacie potrubie) do 12-palcového hlavného potrubia
Hlavnými produktmi systému sú: membránový ventil/vlnovcový ventil/guľový ventil, vysoko čistý konektor (VCR, zvárací tvar), objímkový konektor, regulačný ventil tlaku, tlakomer atď.
V súčasnosti nový systém zahŕňa aj systém špeciálneho plynu s veľkým objemom, ktorý na skladovanie a prepravu využíva pevné plynové fľaše alebo cisternové vozidlá.
2. Definícia čistiaceho systému:
Odstraňovanie nečistôt z objemových plynov pre vysoko čisté plynovody
3. Definícia plynových skríň:
Zabezpečujú reguláciu tlaku a monitorovanie prietoku pre špeciálne zdroje plynov (toxické, horľavé, reaktívne, korozívne plyny) a majú schopnosť vymieňať plynové fľaše.
Umiestnenie: Nachádza sa na spodnom poschodí výrobnej haly alebo na spodnom poschodí na skladovanie špeciálnych plynov Zdroj: NF3, SF6, WF6 atď.
Veľkosť potrubia: Vnútorné plynové potrubie, zvyčajne 1/4 palca pre procesné potrubie, 1/4-3/8 palca hlavne pre potrubie s vysoko čistým dusíkom.
Hlavné produkty: Vysoko čisté membránové ventily, spätné ventily, tlakomery, tlakomery, vysoko čisté konektory (VCR, zváracie formy) Tieto plynové skrine v podstate obsahujú automatické prepínacie funkcie pre fľaše, aby sa zabezpečila nepretržitá dodávka plynu a bezpečná výmena fliaš.
4. Definícia distribúcie:
Pripojenie zdroja plynu k cievke na zber plynu
Veľkosť potrubia: V továrni na výrobu čipov sa veľkosť potrubia na distribúciu plynu zvyčajne pohybuje od 1/2 palca do 2 palcov.
Spôsob pripojenia: Špeciálne plynovody sa vo všeobecnosti spájajú zváraním, bez akéhokoľvek mechanického spojenia alebo iných pohyblivých častí, najmä preto, že zvárané spojenie má vysokú tesnosť.
V továrni na čipy sú stovky kilometrov potrubí pripojených na prenos plynu, ktoré sú v podstate dlhé asi 6 metrov a zvarené dohromady. Veľmi bežné sú aj ohyby potrubí a rúrkové zvarové spoje.
5. Definícia multifunkčnej ventilovej skrinky (rozdeľovacia ventilová skrinka, VMB):
Slúži na distribúciu špeciálnych plynov zo zdroja plynu do rôznych koncov zariadení.
Vnútorná veľkosť potrubia: 1/4 palca procesného potrubia a 1/4 - 3/8 palca preplachovacieho potrubia. Systém môže využívať počítačové riadenie, ktoré vyžaduje ovládané ventily alebo umožňuje menej nákladov pri manuálnych ventiloch.
Systémové produkty: vysoko čisté membránové ventily/vlnovce, spätné ventily, vysoko čisté spoje (VCR, mikrozváranie), regulačné ventily tlaku, tlakomery a manometre atď. Na distribúciu niektorých inertných plynov sa používa hlavne rozdeľovací panel ventilov - VMP (multifunkčný ventilový disk), ktorý má otvorený povrch plynového disku a nevyžaduje konštrukciu s uzavretým priestorom a dodatočné preplachovanie dusíkom.
6. Definícia dosky/skrinky sekundárneho ventilu (panel pre pripojenie nástrojov):
Pripojte plyn potrebný pre polovodičové zariadenie zo zdroja plynu ku koncu zariadenia a zabezpečte zodpovedajúcu reguláciu tlaku. Tento panel je systém regulácie plynu, ktorý je bližšie ku koncu zariadenia ako VMB (multifunkčná ventilová skrinka).
Veľkosť plynovodu: 1/4 - 3/8 palca
Veľkosť potrubia na kvapalinu: 1/2 - 1 palec
Veľkosť výtlačného potrubia: 1/2 - 1 palec
Hlavné produkty: membránový ventil/vlnovcový ventil, jednosmerný ventil, regulačný ventil tlaku, tlakomer, tlakomer, vysoko čistý spoj (VCR, mikrozváranie), spoj s objímkou, guľový ventil, hadica atď.
Čas uverejnenia: 22. novembra 2024