1. Definícia plynového systému:
Skladovanie a kontrola tlaku inertných plynov Typy plynov: Typické inertné plyny (dusík, argón, stlačený vzduch atď.)
Veľkosť potrubia: Od 1/4 (monitorovacie potrubie) po 12-palcové hlavné potrubie
Hlavnými produktmi systému sú: membránový ventil / vlnovcový ventil / guľový ventil, vysoko čistý konektor (VCR, zváracia forma), konektor objímky, tlakový regulačný ventil, manometer atď.
V súčasnosti je súčasťou nového systému aj veľkoobjemový špeciálny plynový systém, ktorý využíva na skladovanie a prepravu pevné plynové fľaše alebo autocisterny.
2. Definícia čistiaceho systému:
Odstraňovanie nečistôt z objemových plynov pre vysokočisté plynovody
3. Definícia plynových skriniek:
Zabezpečujú kontrolu tlaku a monitorovanie prietoku pre špeciálne zdroje plynu (toxické, horľavé, reaktívne, korozívne plyny) a majú schopnosť nahradiť plynové fľaše.
Umiestnenie: Nachádza sa na prízemí alebo spodnom poschodí na skladovanie špeciálnych plynov Zdroj: NF3, SF6, WF6 atď.
Veľkosť potrubia: Vnútorné plynové potrubie, zvyčajne 1/4 palca pre procesné potrubie, 1/4-3/8 palca hlavne pre potrubie na čistenie dusíka s vysokou čistotou.
Hlavné produkty: Membránové ventily vysokej čistoty, spätné ventily, tlakomery, tlakomery, konektory vysokej čistoty (VCR, zváracia forma) Tieto plynové skrine v podstate obsahujú automatické spínacie funkcie pre fľaše, aby sa zabezpečila nepretržitá dodávka plynu a bezpečná výmena fliaš.
4. Definícia distribúcie:
Pripojenie zdroja plynu k zbernej cievke plynu
Veľkosť linky: V továrni na výrobu čipov sa veľkosť potrubia na distribúciu plynu vo všeobecnosti pohybuje od 1/2 palca do 2 palcov.
Forma pripojenia: Špeciálne plynovody sú vo všeobecnosti spojené zváraním, bez akéhokoľvek mechanického spojenia alebo iných pohyblivých častí, hlavne preto, že zváracie spojenie má vysokú spoľahlivosť tesnenia.
V továrni na výrobu čipov sú na prenos plynu pripojené stovky kilometrov hadičiek, ktoré sú v podstate dlhé asi 20 stôp a sú navzájom zvarené. Niektoré ohyby rúrok a rúrkové zvarové spoje sú tiež veľmi bežné.
5. Multifunkčný ventilový box (Valve Manifold Box, VMB) Definícia:
Ide o distribúciu špeciálnych plynov zo zdroja plynu do rôznych koncov zariadení.
Veľkosť vnútorného potrubia: 1/4 palcové procesné potrubie a 1/4 - 3/8 palcové preplachovacie potrubie. Systém môže používať počítačovú kontrolu, aby vyžadoval aktivované ventily alebo lacnejšie situácie s manuálnymi ventilmi.
Systémové produkty: vysoko čisté membránové ventily/vlnovce, spätné ventily, vysoko čisté spoje (VCR, forma mikrozvárania), tlakové regulačné ventily, tlakomery a tlakomery atď. Na distribúciu niektorých inertných plynov je panel ventilového rozdeľovača - Používa sa hlavne VMP (multifunkčný ventilový kotúč), ktorý má otvorený povrch plynového kotúča a nevyžaduje konštrukciu uzavretého priestoru a dodatočné preplachovanie dusíkom.
6. Sekundárna ventilová doska/box (panel na pripojenie náradia) Definícia:
Pripojte plyn požadovaný polovodičovým zariadením od zdroja plynu ku koncu zariadenia a zabezpečte zodpovedajúcu reguláciu tlaku. Tento panel je systém riadenia plynu, ktorý je bližšie ku koncu zariadenia ako VMB (multifunkčný ventilový box).
Veľkosť plynovodu: 1/4 - 3/8 palca
Veľkosť potrubia kvapaliny: 1/2 - 1 palec
Veľkosť výtlačného potrubia: 1/2 - 1 palec
Hlavné produkty: membránový ventil / vlnovcový ventil, jednosmerný ventil, tlakový regulačný ventil, manometer, manometer, vysoko čistý spoj (VCR, mikro-zváranie), objímkový spoj, guľový ventil, hadica atď.
Čas odoslania: 22. novembra 2024